美國Setra 真空電容式壓力計美國西特730

所屬分類：美國西特
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時間：2018-3-23 16:41:48

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產(chǎn)品詳情

Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計，它能精確測量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。

適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。

Inconel® 設(shè)計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料，因此對半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。
Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)，確保730型在這類應(yīng)用中的長使用壽命。

直接壓力測量
內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同，730型測量直接壓力，不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。

應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體滅菌器

·真空包裝

規(guī)格

性能參數(shù)			物理參數(shù)		電氣參數(shù)(電壓)
精度¹	±0.5%讀數(shù) ±0.25%讀數(shù)(可選)		壓力接口	參見訂購信息	激勵輸出⁴	12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC
響應(yīng)時間	﹤20MS		接液材料	Lnconel^@	電流消耗	﹤10mA(最大值)
分辨率	無限，僅受輸出噪聲的限制(≤0.005%FS)		電氣連接	5針螺釘端子、9針D-Sub或15 針D-Sub接頭(位于6^*尾纖上)	輸出負載	﹥10KΩ
溫度影響²			殼體	不銹鋼	輸出阻抗	﹤1Ω
補償范圍		0～+50℃	腔室體積	﹤6.0cc	電路	3線制
零點漂移		0.25%FS/50℃	重量(近似值)	﹤250g	壓力介質(zhì)
量程漂移		1.35%讀數(shù)/50℃	環(huán)境參數(shù)		與lnoonel^@兼容的氣體或液體。lnoonel^@接液材料僅適用于0.5^*管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。
長期溫度性³		0.5%FS/1年,不受環(huán)境條件影響	溫度
			工作溫度	0至+80℃
認(rèn)證			1.包括非線性、非重復(fù)性盒遲滯 3.在80℃下運行時,滿量程范圍小于100Torr 2.產(chǎn)品在66℉進行標(biāo)定,最大溫時為±1.0%FS/年度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來 4.采用50KΩ負載進行標(biāo)定。可在負載≥5KΩ時工作
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